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                FIB-TEM

                背景:

                         某行业国外粉末颗粒▅竞品,需观察分在微风中荡漾起伏析样品在某一反应前后颗粒微结构的变化。委托OPTON对样品这人进行TEM表征分析。

                方案:

                1、利用EBSD技术,对粉末颗粒的取向进行标定

                2、对特定颗粒进行特定方向的FIB制样

                3、对样品进行TEM观察

                结果:

                测▂量流程如图1所示,获得特定方向的TEM结果见下。

                图1 通过EBSD寻找到方向合适的颗粒∩

                 

                图2 利用FIB将样品提取出来,制成TEM样品

                 

                图3 STEM测量结果

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