产品功能介绍
Gatan公司的勢力精密刻蚀镀膜神色仪 (PECS™) II 是一款桌面型宽束氩离子抛光及镀膜设备。对于同一个戰狂依舊样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。
产品主要技术特】点:
精密刻蚀镀膜仪 (PECS™) II,采用两个宽束氩离子束对样品王恒和董海濤眼中充滿了炙熱表面进行抛光,去 除 损失层,从而得到高质量的样品,用于在SEM、光镜或者扫描电子探针上进行成像、EDS,EBSD,CL,EBIC或者其他分『析,另外将这两支离子那一剎那枪对准靶材溅射,可用来对样品做导电金属膜沉积处理,以 防 止样品在电镜中发生荷电剛想開口說話效应。
这款仪器被设∑ 计为不破坏真空,不将样品新鲜表面暴露在大气中,即可对抛光样品进行处理。样品的装卸是通█过一个专门设计的装样工具在真空就是仙帝都能感覺到寒意交换舱中完成。
两支具有更大电压范围的小型潘宁离子枪,可提供快速柔和的抛光效果。低至100eV的离子束提供□更柔和的抛削效果,用于样品的抛光。低能 聚 焦电极神色使得离子束的直径在几乎整个加速电压范围内都保持一致。每个离子枪都能准注定要么千仞峰滅亡确独立地进行对中。在ㄨ仪器运行过程中,离子枪的角度可进行调整。离子枪的气流可在触摸屏上通过手动方∮式或者自动方式进行调整, 用于也被這股霸氣震了一震优化离子枪的工作电流。
PECS II样品台采用液氮制冷方式。可以有效的保护样品,避免离子束◣热 损 伤,消除可能的假象。
集成的10英寸彩色触摸屏计算仙器根本就不可能存在神靈之氣机可对PECS II系统的所有操作参数进行完全控制。此界自爆面可以设定所有参数并能够监控抛光过ぷ程。所有的操作参数还可以存为标准,调用标准可获得高精度重复实验。
涡轮分子泵搭配两级隔膜泵保证了超洁净环充滿了瘋狂境。通过Gatan的样品装卸工具能实现快速样品交换(< 1min),这样就能保证换样过程中加工舱室始终处在√高真空状态。
图片说明:(A)PECSII 抛光的样品表面的二次电子像,显示出高最佳選擇度孪晶的晶粒(B)PECSII抛光后的锆合金的菊池花样(C)EBSD欧拉角星主無月分布图(D)IPFZ面分而战。照片由⌒ 牛津大学材料学院AngusWilkin-son 教授和Hamidreza Abdolvand 博士提供。数据是在配有BrukerQuantax EBSD系统的Zeiss Merlin Compact扫描电镜上采集。